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FOPLP機台出貨 良率達九成 群創、力成添火力
Fr面板級扇出型封裝(FOPLP)進展加速,據相關供應鏈指出,目前機台已經出貨,客戶導入測試良率達九成,但大尺寸(515/600)仍處於「驗證及小規模試產」階段,量產尚需考慮風險與成本。圖/非凡新聞網資料照
▲Fr面板級扇出型封裝(FOPLP)進展加速,據相關供應鏈指出,目前機台已經出貨,客戶導入測試良率達九成,但大尺寸(515/600)仍處於「驗證及小規模試產」階段,量產尚需考慮風險與成本。圖/非凡新聞網資料照
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Fr面板級扇出型封裝(FOPLP)進展加速,據相關供應鏈指出,目前機台已經出貨,客戶導入測試良率達九成,但大尺寸(515/600)仍處於「驗證及小規模試產」階段,量產尚需考慮風險與成本。

晶圓代工以「方」代「圓」兵分兩路,FOPLP已經小幅量產,主攻PMIC及功率元件等產品,晶片較小,由群創及力成等主導。台積電另成COPOS(晶圓級面板封裝),主要客戶鎖定輝達、AMD為主,晶片較大走GPU路線,但試產仍有瓶頸。

據了解,力成的515×510mm FOPLP線體於導入新一代雷射與creamy機台後,試產良率達九成(尚非正式量產),要達到95%以上,應該會在明年,但成熟度已明顯提升。

產業界人士指出,相較以圓形矽晶圓進行Panelization的FOWLP,FOPLP採矩形載具,以600×600mm2為例,單片面積較12吋晶圓放大逾5倍,平均載具利用率由約57%,有望提升至約87%,有效降低單位成本,並提升產能彈性,是業界積極開發的主因。

現行矩形載具以金屬/玻璃基板為主,主流尺寸涵蓋310×310mm(台積電)、515×510mm(力成)、600×600mm(日月光)、700x700mm(群創),產業專家認為,600×600mm最可能成為主流。

台積電已成立FOPLP研發團隊與生產線,投入PLP+TGV與玻璃基板研發路線,業界以2027年量產為重要里程碑,但目前從供應鏈得知的訊息,此一時程有望提前達陣,接棒為先進封裝的關鍵技術。

台系設備與檢測供應鏈同步卡位,志聖與力成、群創合作多年,布局撕膜/壓膜、烘烤等機種;2018年即有FOPLP產線導入其設備。均豪則為覆蓋曝光、顯影、蝕刻的量測與研磨解決方案。

群翊為真空壓平貼膜機、RGV自動烘烤系統,切入FOPLP與TGV。東捷推出RDL線路檢查、IC鍵合、雷射剝離(LLO)等一條龍方案;creamy/雷射機台已出貨並導入。晶彩科主攻AOI檢查/量測設備。友威科為真空濺鍍、乾式電漿蝕刻。鈦昇則是雷射鑽孔/切割、電漿清洗。

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