半導體技術高速發展,奈米級光罩成本,每一代製程價格呈現指數級成長,讓晶圓共乘服務更加重要,IC設計業者不僅可以共同分擔光罩的成本,還能快速完成晶片前段或後段的測試和驗證。
精密的無塵室廠房裡,最重要的除了晶圓,還有裝滿晶圓的天車自動運送,隨著晶片開發成本和設計難度越來越高,在晶圓共乘的概念之下,業者共同分擔晶圓代工或測試成本,大幅降低開發費用。
《非凡新聞》記者 曹再蔆:「晶圓共乘服務就是將來自不同客戶的晶片,同時整合在一個晶圓上面,這邊有大大小小的線路堆疊,而且同時五家客戶來進行整合的話,可以大幅降低光罩的需求,並且縮短客戶晶片測試驗證,還有異質整合的研發時程。」
機械手臂來回運轉,首先確認晶圓位置、精準度與校正,再送到載台上進行晶圓厚膜貼合,藉由黃光定義出不同圖形。
《非凡新聞》記者 曹再蔆:「可以看到這片剛剛貼完厚膜,還有曝光之後的晶圓,它的翹曲,也就是它整個周圍還有晶圓表面,都已經完全平整,接下來就要進入到這一台檢測機台,來進行良率、線寬、線距,還有3D凸塊高度的量測。」
經過凸塊高度檢測機,量測線路CD、晶圓缺線檢測、3D凸塊高度量測,緊接著將晶圓清洗再接合對位,最後移除玻璃載體。
工研院電光所經理 張香鈜:「藉由這個光罩共乘的降低成本,然後可以讓大家做少量多樣,以及像概念驗證的一個先進封裝製程服務,在包含前面的設計,製作光罩以及整個驗證的話,總共會在大概四到五個月會完成,如果單一家公司來做的話,那可能往往都是要半年到一年的時間。」
今年半導體產業重頭戲落在2奈米節點製程,奈米時代價格呈現指數級成長,創新和速度是成功因素的重要關鍵。(記者 曹再蔆、陳柏誠/新竹採訪報導)