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全球僅出貨5台! ASML最先進EUV設備亮相
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艾司摩爾推出全球最先進的「高數值孔徑極紫外光微影設備」,具備更高解析度與製程效率,支援2奈米及以下先進製程,成為AI與高效能運算晶片製造的關鍵工具。近期艾司摩爾首度邀請媒體參觀總部的實驗室,也讓這台神秘的巨型設備,第一次對外亮相。

CNBC記者 Katie Tarasov:「我們現在人在荷蘭的艾司摩爾總部,這裡生產了世界上全部的極紫外光微影設備,現在還有『高數值孔徑』的下一代機型。我們必須穿上這種『兔子裝』,是為了保護這些超精密的機器,避免被我們的頭髮或皮膚細胞污染到。」

荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾,首度開放媒體進入位於總部的高度機密實驗室,名為「High NA」的最新一代極紫外光微影設備因此正式對外亮相!這款銀白色、線路錯綜複雜,體積比一輛雙層巴士還要大,並且價值高達4億美元的巨型機器,是全世界唯一能以13.5奈米波長進行高精度晶片製程的設備,可說是AI時代的關鍵工具。

CNBC記者 Katie Tarasov:「你覺得這裡有多少人在工作?」

High NA機台驗證部門團隊主管 Assia Haddou:「光是工廠裡面就大概有2000個人在運作,整個系統是24小時不停歇在運轉的。光線會透過投影光學系統,打到晶圓上,大概就是這個位置,這裡就是晶圓平台。這台機器從開始製造到完成,大概花了一年半的時間。說真的,我到現在還是覺得超震撼,而且你越了解它,就會越覺得不可思議。」

與前一代設備相比,最新的High NA機台擁有更大的數值孔徑,能以更高解析度、更少步驟完成任務。這項技術門檻極高,全球僅有艾司摩爾能製造,單一機台甚至須分解後動用7架波音747貨機才能運送,至今僅出貨5台,落腳英特爾、台積電與三星電子。

CNBC記者 Katie Tarasov:「請問這些機器要用多少電?」

艾司摩爾執行長 Christophe Fouquet:「我覺得真的太多了!如果我們的AI晶片在未來沒辦法提升能源效率,光是訓練那些模型,到2035年左右可能就會把全世界的電都用光。不過從我們2018年開始使用極紫外光微影以來,每次曝光所需的能量已經減少超過60%了。」

展望未來,艾司摩爾同時正積極研發更高階的「Hyper NA」機型,預計在2032至2035年間推出,目標是再度推升晶片微縮極限,並鞏固其在半導體設備領域的主導地位。(記者 陳鳴駿、李芷螢/綜合報導)

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