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美再施壓!荷蘭撤銷艾司摩爾出口DUV許可 少量中國客戶受影響
美國持續施壓艾司摩爾限制出口先進半導體製造設備到中國。圖/路透社
▲美國持續施壓艾司摩爾限制出口先進半導體製造設備到中國。圖/路透社
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《彭博資訊》引述知情人士報導,在荷蘭限制高階晶片製造設備出口的新禁令1月生效之前,半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)已應美國要求取消出口深紫外光微影設備(DUV)到中國,此前該公司獲得出口3台深紫外光微影設備(DUV)給中國客戶的許可證,但美方接觸艾司摩爾並要求馬上停止預先安排好的部分機器出貨作業。

艾司摩爾在彭博報導後發出聲明說,在美國實施出口限制後,荷蘭政府取消了向中國出口NXT:2050i和NXT:2100i光刻系統的許可證,影響了少數中國客戶,但稱此舉或是美國最新的出口管制措施不會對該公司2023年財務前景帶來重大影響。

艾司摩爾還表示,在最近與美國政府的討論中,艾司摩爾已進一步確認美國出口管制法規的範圍和影響,並稱正致力於遵守所有適用的法律和法規,包括有業務國家的出口管制措施,根據美國去年宣布的規定,如果艾司摩爾的Twinscan NXT1930Di機器含有任何美國零件,美國有權限制其出口。

知情人士透露,美國提出要求後,數量有限、每台生產成本恐高達數千萬美元機器的出貨作業遭到取消,目前還不清楚有多少台設備遭取消出貨,美國自2019年開始施壓艾司摩爾,當時美國總統川普的政府呼籲荷蘭禁止向中國銷售艾司摩爾的極紫外光微影設備(EUV),之後在拜登政府持續施壓下,荷蘭去年進一步緊縮對中國的出口限制,從今年1月起限制出口第二先進的DUV設備到中國。

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