台灣半導體產業發光發熱，台積電等廠商技術領先全球，只不過半導體生產工廠，所使用的設備大多仰賴進口，成為隱憂。現在本土設備製造崛起，這回要帶您直擊國內PVD物理氣相沉積機台生產過程，純手工、高技術含量、上萬件零組件，耗時至少半年，才能打造出一台MIT半導體機台。

科技日新月異，AI產業與智慧工業模式轉變，高速運算與高速物聯網需求大幅增長，帶動半導體晶圓升級，提到半導體產業，大家都會聯想到台積電這樣的晶圓代工廠，或是它前段的IC設計，後段的封裝測試廠，但工欲善其事、必先利其器，先進半導體設備不斷推陳出新。

直擊國內設備廠，PVD物理氣相沉積機台生產過程，主要先從真空室、材料源、靶材、基底、加熱器、旋轉台，密密麻麻的線材等零組件開始。

技術人員仔細將管線，手工焊接成機台要求的大小與形狀，零件陸續組裝成半成品，有別於大多數自動化生產線，這些精密半導體機台需純手工製作。

非凡新聞記者曹再蔆：「半導體設備製造非常繁瑣，可以看到這台PVD物理氣相沉積機台，是來幫助晶片鍍膜，讓電流流通，而裡面有像是靶材、磁鐵盤、控溫承載盤等上萬件的零組件。」

其中真空室是PVD設備的核心零件，需要具備高度真空度，能夠抵抗高溫、高壓、腐蝕等惡劣環境。而每部PVD都具備6個腔體位置，與EFEM高度整合，可依客戶需求選擇腔體配置，打造一台大約半年時間。

非凡新聞記者曹再蔆：「耗時數月組裝完成的PVD機台，有高達4噸重，而這時還不能急著出貨，因為客戶會先將他們的晶圓送到這裡來進行檢測，確認它們的深寬比、應力、厚度，還有均勻度沒有問題。」

晶圓最後送至橢偏儀，利用橢圓偏振光，量測薄膜厚度、折射率等，PVD真空電漿鍍膜設備完成。天虹科技製造PVD、ALD、 晶圓鍵合及解鍵合設備，一年出貨約30台，台灣半導體產業蓬勃發展，但設備大多仰賴進口，本地製造至關重要。

天虹科技董事長黃見駱：「台灣還蠻特殊的，在晶圓製造、IC設計、後段的封裝，再一路往下走到製造的所有終端，其實都是全球數一數二的，但是設備就真的非常非常欠缺，整個國際性的這個變局，都會影響到科技的演進，那這個我們必須要重視每一個點。」

由於產能已無法支應強勁的客戶需求，天虹科技規劃擴充湖口廠，明年產能預估增加一倍，半導體廠海外布局，漢唐、帆宣、亞翔、洋基工程等無塵室與機電工程廠喜迎大單，明年營運可望再升溫。

天虹科技董事長黃見駱：「第四季會比第三季好很多，那第三季又比第二季，跟第一季還要好，那明年我們也是期待會成長，以我們公司來看，但是以大環境來講它不太一樣，大環境我個人覺得現在的半導體的庫存，好像有開始比較和緩了，當然歐美中三個大地區，都有它各自的問題存在，所以我覺得看起來，終端需求並沒有那麼顯現的出現，那設備開發驗證要有時間，那製程要有時間，所以這樣子的時間是剛好，有我們新開發設備可以表現的地方。」

成功突破發展限制，打造高技術含量MIT半導體機台，台灣半導體聚落牽動全球科技業生命線。（記者曹再蔆、陳柏誠／新竹採訪報導）