護國神山台積電，在晶圓代工領域拿下世界第一，不過光是一家台積電，2020年的用電量，就高達160億度，約佔全台用電量的5%，更不用說半導體生態系，對於水電的需求都相當龐大！現在台積電誓言，要打造綠色供應鏈節能減碳．真的做得到嗎？其實有人已經在做了，我們獨家前進台積電重要供應商艾司摩爾的工廠，直擊節能減碳的四大招式。

台積電董事長劉德音：「各個產業都在提升綠色製造這塊，減少全氟化合物，每一年都要減少全氟化合物，在所有的事情上，也要節省能源，來符合我們的節能政策。」

台積電董座登高一呼，你我常常聽到的“節能減碳”，現在已經成了半導體供應商的，生存之戰。

非凡新聞記者楊智捷：「台積電傳出預計要將供應鏈碳足跡，以及減碳績效列為選擇重點，也就是七百多家的供應商，可能要在2030年之前減碳20%，不過這個目標，對台積電關鍵供應商的艾司摩爾來說，早就是現在進行式。」

對高耗能的半導體產業來講，節能省水可以說是難上加難，台積電一年就用了160億度電，約占台灣用電的5%，當中艾司摩爾所生產的夢幻設備EUV，更被外界稱做是吃電怪獸，不過在眾多供應商，手忙腳亂想辦法節能之際，這家荷蘭大廠，竟然喊出在2040年之前，要達到碳中和目標，到底怎麼可能做到？

非凡新聞記者楊智捷：「我們來到艾司摩爾位於林口的智慧製造中心一探究竟，最先映入眼簾，這是全球唯一的8吋微影機台，生產年代久遠，在服役30年後，今年因為車用晶片的需求而翻紅，訂單需求大增。」

吊起重達100公斤的零件，工程師們好像在組裝變型金剛，由於當初的零件已經絕版，打造全新的又不敷成本，艾司摩爾回收舊機台以後，透過宛如「老車翻新」的方式修理後，讓它還能繼續服役十年。

ASML系統整合工程師主管劉人豪：「我們每翻修一台機台，就等於替世界減少，六到七噸的垃圾。」

透過翻新機台，兩年內減少共600~700公噸的廢棄物，接著我們前往模組清洗站。

ASML系統整合工程師主管劉人豪：「艾司摩爾找到一個方法，去清潔汙染，這些收集模組可以循環再利用。」

圓盤狀的EUV光源收集模組，隨著使用會產生許多錫滴的沉積物，就像眼鏡用久了要擦拭，過去每三個月就要送回德國蔡司原廠清洗，現在在台灣就能維修，每年可減少的碳排放量到達184萬公斤。」

非凡新聞記者楊智捷：「半導體關鍵工具就是光罩了，就像是底片上面硬滿電路圖，在我手上這就是光罩盒，裡頭閃著光芒的就是光罩。」

造價高昂一片動輒上千萬的光罩，放入機台的過程，全靠機器手臂傳輸抓取，這座DUV深紫外光機台當中的光罩傳輸模組，就在台灣在地化生產，因此不會產生任何跨國運輸的碳排放，也是一種減碳。讓人驚豔的還有這一系列機台，有個很可愛的名字，叫做「良率之星」。ASML工程師鍾云婷：「你可以把它想成是蓋房子，房子一層一層堆疊起來，我們的晶圓也是一樣。」良率之星可以檢測晶圓片在蝕刻蓋樓的過程，位置是否精確，畢竟提升良率就是減少浪費。

台經院產經資料庫總監劉佩真：「當整個台灣的半導體已經高度融入，勢必在綠色馬拉松賽跑，廠商就盡早來做布局。」ASML林口智慧製造中心資深總監趙中臻：「以目前全球暖化的來看，不做任何事情是不可能的，這個行業本身是一個生態系，所以我們的客戶，還有我們客戶的客戶，對我們的要求，以及我們對我們的供應商的要求，都是在同一個區間之內。」

「客戶的客戶們」 都說話了，蘋果、微軟和臉書，都宣示要在2030年之前，要實現碳中和，亞馬遜則訂在2040年，節能減碳愛地球，現在不是選擇題，而是不做不行。（非凡新聞記者楊智捷、蘇韋銘 桃園採訪報導）