台積電全力衝刺先進製程，預期將在2021年試產，2022年大規模投產，為了幫助台積電達成目標，上下游廠商通通動起來，近期有消息傳出，日廠富士軟片和住友化學，紛紛投入開發新型光阻劑，最快2021年就可以開始供應下一代晶片製程使用，協助提升3奈米良率。

台積電董事長劉德音，總裁魏哲家，分別在今年的股東會和法說會上，一再強調，3奈米和5奈米先進製程，進展都很不錯。

台積電全力衝刺先進製程，也得靠設備材料廠商支援，近期有消息傳出日廠富士軟片和住友化學，雙雙投入開發用於EUV極紫外光微影技術的特殊光阻劑，其中富士軟片已經投資45億日圓，相當於新台幣12.6億元，在旗下靜岡縣工廠引進相關設備。

而住友化學則是預計2020年度前，在現有的大阪市工廠內建置，從開發到生產的光阻劑全產線，兩家廠商都表示，最快2021年就可以開始供應，下一代晶片製程使用。

分析師表示，5奈米到3奈米製程，在良率的提升上，難度比過去高出許多，有了新型光阻劑的協助，就能在晶圓蝕刻過程中，留下較少的殘留物，確實能大大提升產品良率。

台積電衝製程，不只下游廠商期待成果，整條供應鏈都動了起來，期望能盡早達成下一代晶片量產目標。（記者唐立臻、蘇韋銘／台北報導）